材料本身所具有的性能，必須通過正確的熱處理手段（duàn）來達到。隻（zhī）有良（liáng）好的熱處理手段，才能實現我們預想的性能期望。根據塑封模具材料性（xìng）能要求，塑封模熱處理手段主要是高溫淬火（huǒ）、深冷（lěng）處（chù）理、高溫（wēn）回火，並多次反複，通過這些不同的處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛性和耐磨損（sǔn）性（xìng），一般（bān）材料均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種合金元素充分溶解於奧氏體內，以便（biàn）在淬火時獲得高的基體硬度，同時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采（cǎi）用了真空處理（lǐ）。目前半導體行業內使（shǐ）用的高（gāo）速率氣淬淬火（huǒ）爐（lú），可以在高真空條件下通過氮氣（qì）保護對工件進行加熱，既保證了工件的脫（tuō）碳氧化，又防止了合金元素的蒸發。同（tóng）時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件進行淬火冷卻，在保（bǎo）證工（gōng）件充分淬透的同時又減少了變形。 
2、深冷處（chù）理與高溫回（huí）火 
    高合金（jīn）鋼在淬火後，由於其馬氏體轉變點（Ms點）均高於（yú）室溫，為了提高硬度，保（bǎo）證尺寸穩定性（xìng），通常要進（jìn）行深冷處理和高溫回火（huǒ），以保證殘餘奧（ào）氏體充分轉變為穩定的回火馬氏體。我們將經過真空淬火後的工（gōng）件，在室溫至100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷（lěng）處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下，可以在-140℃至230℃之間進（jìn）行冷熱（rè）循環，保證工件不會因為（wéi）進（jìn）出爐而產生變形或開裂。同時由於采用氮氣保護也避免了工（gōng）件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料，我們通常在（zài）深冷設備中直接完成-140℃深冷（lěng）至230℃回火（huǒ）的3次循環。對於高（gāo）於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空回火爐，在抽真空後，加入99.999%的（de）高純氮氣作為介質（zhì），通過吹風方向的改變來形成對流，保證了工件的溫度均勻性，同時節省了（le）回火時間。 
3、其它輔助手段 
    在提高了淬火回火及深冷處理質量的同時，我們同時對工件的其它環節給（gěi）予了充分的重視，過（guò）去認為（wéi）的熱（rè）處理工件潔淨度與處理（lǐ）無關的觀點（diǎn）已（yǐ）經被拋棄，增加潔淨預處（chù）理。即將未入爐零件，通過（guò）真空清洗機進行（háng）真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件（jiàn）的各類加工油汙和碎屑，保（bǎo）證了入爐工件不（bú）會帶入（rù）其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分解，汙染爐內環境和工件本身，從微觀上保證了工件的組織潔淨度和（hé）處理質（zhì）量的完美性（xìng），提高（gāo）了工件的使用壽（shòu）命。

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